[Hot-Chuck]
열전소자를 이용해 구성한 시스템으로 기존 칠러형 보다 빠른 응답속도, 높은 온도 신뢰성 등의 많은 이점이 있습니다. 또한 간편한 구조로 되어 있어 편리하게 유지보수를 자랑합니다.
품명 | Hot-Chuck | |||
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제품의 용동 | Silicon wafer Hot & Cool system | |||
일반사항 | 설치장소 | 실내용 | ||
사용 주위 온도 | 22℃ | |||
사용 주위 습도 | 40~ 80% | |||
인입전력 | AC 220V | |||
가열 냉각 방법 | TEC냉각, 가열 | |||
가열 냉각 대상 | Silicon wafer | |||
기기성능 | 온도범위 | 냉각 시 | -40℃ | |
가열 시 | 150℃ | |||
냉각능력 | 최대 600 Watt/sec | |||
가열능력 | 최대 1200 Watt/set | |||
평탄도 | 10㎛ | |||
도달속도 | 가동 후 300초 이내 | |||
기타사항 | 제품크기 | ø 300 | ||
제품중량 | 8 kg | |||
안전장치 | 3중 안전 장치 |